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材料微觀行為研究正迎來多場景耦合、原位動態(tài)表征的新時代。國儀量子推出創(chuàng)新性原位力學(xué)解決方案，憑借卓越的開放兼容性，實現(xiàn)全系列電鏡產(chǎn)品與市面上主流原位測試設(shè)備的無縫對接，為材料科學(xué)研究提供靈活、高效的多場景耦合分析平臺。該解決方案突破傳統(tǒng)封閉系統(tǒng)的局限，集合各種原位電鏡適配關(guān)鍵要素與一身，具備以下特點：大束流：優(yōu)于100nA，有利于快速分析EDS，EBSD等相關(guān)信息大空間：360MM×310MM×288MM（長寬高）大承重：5Kg（定制夾具最多支持10Kg）多視角：多位CCD保...

在材料高溫性能研究、相變機(jī)理分析等領(lǐng)域，傳統(tǒng)外部加熱手段往往無法實現(xiàn)微區(qū)精準(zhǔn)控溫與實時觀測的結(jié)合。國儀量子聯(lián)合中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)微納中心，自主研制原位加熱芯片解決方案，通過MEMS加熱芯片與雙束電鏡的深度融合，實現(xiàn)樣品在室溫至1100℃范圍內(nèi)的精準(zhǔn)控溫與微觀動態(tài)分析，為高溫環(huán)境下材料行為研究提供全新工具。該方案采用國儀自研雙束電鏡與專用MEMS加熱芯片，控溫精度優(yōu)于0.1℃，測溫分辨率優(yōu)于0.1℃，同時具備溫度均勻性好、紅外輻射少等優(yōu)勢，有效保障高溫下的分析穩(wěn)定性。系統(tǒng)支持在加...

在材料分析與表征領(lǐng)域，單一技術(shù)往往難以同時獲取納米尺度的形貌與分子級別的化學(xué)信息。國儀量子創(chuàng)新推出電鏡-拉曼聯(lián)用解決方案，實現(xiàn)掃描電鏡高分辨率成像與拉曼光譜化學(xué)分析的真正原位融合，為多維度材料研究提供強(qiáng)大工具。國儀量子電鏡-拉曼聯(lián)用解決方案通過光路優(yōu)化與系統(tǒng)集成兩種方式，在同一平臺完成微區(qū)定位、形貌觀測與拉曼檢測，徹底解決傳統(tǒng)跨設(shè)備分析中的定位誤差問題。用戶可在SEM圖像中精準(zhǔn)鎖定目標(biāo)區(qū)域（如缺陷、界面、納米顆粒），直接激發(fā)拉曼激光，同步獲取成分、物相、應(yīng)力分布等化學(xué)結(jié)構(gòu)信息...

在半導(dǎo)體制造邁向更精細(xì)工藝的時代，晶圓級缺陷分析、失效定位與微納加工已成為提升良率的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。國儀量子推出8英寸晶圓雙束全尺寸加工解決方案，集高分辨率成像與精準(zhǔn)離子束加工于一體，實現(xiàn)對晶圓的“觀測-分析-切割”全流程覆蓋，為半導(dǎo)體先進(jìn)制程提供強(qiáng)大技術(shù)支撐。該方案搭載150mm大行程高精度樣品臺，可支持8英寸晶圓全域無損觀測與加工，配合外置光學(xué)導(dǎo)航系統(tǒng)與智能防碰撞算法，實現(xiàn)晶圓的快速、精準(zhǔn)定位與安全操作。系統(tǒng)配備肖特基場發(fā)射電子槍，分辨率達(dá)0.9nm@15kV，離子束分辨率達(dá)3...

在半導(dǎo)體制造邁向更精細(xì)工藝節(jié)點的今天，晶圓缺陷檢測已成為決定良率與性能的關(guān)鍵。國儀量子推出新一代12寸晶圓掃描電鏡解決方案，以突破性技術(shù)實現(xiàn)晶圓全域、無需轉(zhuǎn)動與傾斜、無損、高分辨率檢測，為先進(jìn)制程提供堅實支撐。該方案配備超大行程樣品臺（X/Y≥300mm），可全面覆蓋12寸晶圓，無需切割或轉(zhuǎn)移樣品，真正實現(xiàn)“原尺寸、原位置”觀測。系統(tǒng)搭載肖特基場發(fā)射電子槍，在15kV下分辨率達(dá)1.0nm，即便在1kV低電壓下仍保持1.5nm超高分辨率，極大降低電子束損傷，尤其適用于敏感結(jié)構(gòu)與...